film déposé par dépôt chimique en phase vapeur
- film déposé par dépôt chimique en phase vapeur
- cheminiu gariniu būdu nusodinta plėvelė
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. chemical vapor deposition film
vok. chemische Gasphasenabscheidungschicht, f
rus. плёнка, полученная химическим осаждением из паровой фазы, f
pranc. film déposé par dépôt chimique en phase vapeur, m
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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